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伺服电机行星减速机是由一个内齿环(A)紧密结合於齿箱壳体上，环齿中心有一个自外部动力所驱动之太阳齿轮(B)，介於两者之间有一组由三颗齿轮等分组合於托盘上之行星齿轮组(C)该组行星齿轮依靠著出力轴、内齿环及太阳齿支撑浮游於期间；伺服电机行星减速机当入力侧动力驱动太阳齿时，可带动行星齿轮自转，并依循著内齿环之轨迹沿著中心公转，游星之旋转带动连结於托盘之出力轴输出动力。
伺服系统是使物体的位置、方位、状态等输出被控量能够跟随输入目标（或给定值）的任意变化的自动控制系统。伺服主要靠脉冲来定位，基本上可以这样理解，伺服电机行星减速机接收到1个脉冲，就会旋转1个脉冲对应的角度，从而实现位移，因为，伺服电机行星减速机本身具备发出脉冲的功能，所以伺服电机行星减速机每旋转一个角度，都会发出对应数量的脉冲，这样，和伺服电机行星减速机接受的脉冲形成了呼应，或者叫闭环，如此一来，系统就会知道发了多少脉冲给伺服电机行星减速机，同时又收了多少脉冲回来，这样，就能够很精确的控制电机的转动，从而实现精确的定位，可以达到0.001mm。
伺服电机行星减速机内部的转子是永磁铁，驱动器控制的U/V/W三相电形成电磁场，转子在此磁场的作用下转动，同时电机自带的编码器反馈信号给驱动器，驱动器根据反馈值与目标值进行比较，调整转子转动的角度。伺服电机行星减速机的精度决定于编码器的精度（线数）。
了解伺服电机行星减速机的工作原理是必备的，因为只有这样，我们才能更深层次的了解它，并且在使用它时更加顺手。
